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设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ，并在实际生产中获得成应用。2　设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器，齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ，要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ，它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。

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通气管19从排气口 13排出。本实施例的气流导向装置20可有效减小炉内空间(尤其是坩埚支持器 14下方的空间)，便于排气，且利于减少热能和氩气的消耗量，另外，由于 该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通，整个炉内的 一氧化硅与氩气的混合气体(包括坩埚支持器14下方的混合气体)能通畅 地排出炉外，整个炉内不存在排气死角。通气管19从排气口 13排出。本实施例的气流导向装置20可有效减小炉内空间(尤其是坩埚支持器 14下方的空间)，便于排气，且利于减少热能和氩气的消耗量，另外，由于 该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通，整个炉内的 一氧化硅与氩气的混合气体(包括坩埚支持器14下方的混合气体)能通畅 地排出炉外，整个炉内不存在排气死角。