二手蓝宝石长晶炉沧浪plc编程维修/保养其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8xl03Pa0.9xl03Pa，氩气流量为30L/min。上述技术方案中。且可减少热能及氩气消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是一种直拉式单晶生长炉，其包括氩气输入管。本发明的目的是一种易于及时排出炉内的混合气体发明内容与氩气输入管相连通的环形气体分布器还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和该部的排气口之间的气流导向装置该炉的石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接所述气流导向装置由石墨制成经 9xl03Pa且利于在硅单晶生长过程中单晶分子排列结构的整齐性且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石墨中轴及一对电极孔配合设置由于该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通既有效地防止了一氧化硅气体对加热器和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀另外还可对硅晶体的生长过程起到稳定作用。炉采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，大大提高了使用寿命，2，可抽真空，并能通入多种保护气氛（易，强腐蚀性气体除外），3，超压自动泄压，超温并断电，漏电保护，作安全可靠，4，我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联，可实现单台或者多台电炉远程控制，实时 ，历史记录，输出报表等能，可无纸记录装置，实现数据的存储，输出，5，可选配通过触摸屏作的方式对真空系统。

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单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1　引　言半导体材料是半导体工业的基础材料用提拉的法制成的。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的，99%以上的集成电路是硅集成电路在单晶硅生产过程中图1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器在实际单晶炉中。要求提拉速度V能在(0.2～10.0)mm/h内无级调节，它相对于给定信号的线性精度±2%。设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统，并在实际生产中获得成功应用。2　设计的关键图1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速n经减速器。生长过程均速提拉的法制成的。行程关，位置关（又称限位关）的一种，是一种常用的小电流主令电器。利用生产机械运动部件的碰撞使其触头动作来实现接通或分断控制电路，达到一定的控制目的。通常，这类关被用来限制机械运动的位置或行程，使运动机械按一置或行程自动停止，反向运动，变速运动或自动往返运动等。